– Nopean, kustannustehokkaan ja tiukimmatkin puhtausvaatimukset täyttävän tuotannon mahdollistaminen onkin avainasemassa luotaessa menestyksekkäitä ALD-ratkaisuja uusia muistisovelluksia varten, sanoo Wei-Min Li, Picosun Aasian CEO.
300 millimetrin kiekkokoolle soveltuvan klusterin suunnittelu perustuu Picosunin jo pitkään valmistamaan, täysautomaattiseen ja monikäyttöiseen Picoplatform–ALD-pinnoitusyksikköön. Sillä jolla voidaan ajaa samanaikaisesti useita rinnakkaisia prosesseja muun muassa korkean k-arvon materiaalien sekä metalli- ja metallinitridiohutkalvojen valmistamiseksi.
Järjestelmä koostuu useista yksittäisistä Picosun P-sarjan korkean suoritustehon ALD-reaktoreista, jotka soveltuvat sekä yksittäisille kiekoille että kiekkoerille tehtävään pinnoitukseen.
Yrittäjäsanomat
toimitus@yrittajat.fi